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SITIME晶振微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)kHz振蕩器是極小的低功耗32kHz器件,針對(duì)移動(dòng)和其他電池供電應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化.硅MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)了超小尺寸和芯片級(jí)封裝.這些器件可實(shí)現(xiàn)更大的元件布局靈活性,并消除了外部負(fù)載電容,從而節(jié)省了額外的元件數(shù)量和電路板空間.SiTime采用NanoDrive™技術(shù),這是一種工廠可編程輸出,可降低電壓擺幅,從而最大限度地降低功耗.還提供TempFlatMEMS™技術(shù),該技術(shù)可在1.2mmx1.2mm的封裝內(nèi)實(shí)現(xiàn)首個(gè)32kHz±3百萬(wàn)分之一(ppm)超級(jí)TCXO.SiTime的MEMS振蕩器包括一個(gè)MEMS諧振器和一個(gè)可編程模擬電路.kHzMEMS諧振器采用SiTime獨(dú)特的MEMSFirst™工藝.關(guān)鍵制造步驟是EpiSeal™,在此期間MEMS諧振器的退火溫度超過(guò)+1000°C.EpiSeal創(chuàng)造了一個(gè)極其牢固,干凈的真空室來(lái)封裝MEMS諧振器,可確保最佳的性能和可靠性